系統(tǒng)可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測(cè)量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅(qū)動(dòng)的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測(cè)量技術(shù)，是國(guó)內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)同質(zhì)膜厚全自動(dòng)檢測(cè)的系統(tǒng)。

QuickOCT-4D™ 將單點(diǎn)可見(jiàn)光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)相結(jié)合，可以在高達(dá) 66 kHz 的單次測(cè)量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高達(dá) 100μm）和軸向分辨率 （5nm） 針對(duì)半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測(cè)量進(jìn)行了優(yōu)化。

硬化涂層膜厚儀是一款快速、準(zhǔn)確測(cè)量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案，要求的光斑尺寸小到幾個(gè)微米，如微圖案表面，粗糙表面及許多其他表面。

Thetametrisis膜厚測(cè)量?jī)xFR-pRo是一個(gè)模塊化和可擴(kuò)展平臺(tái)的光學(xué)測(cè)量設(shè)備，用于表征厚度范圍為1nm-1mm 的涂層。

光學(xué)厚度測(cè)量?jī)x的光學(xué)模塊可容納所有光學(xué)部件：分光計(jì)、復(fù)合光源(壽命10000小時(shí))、高精度反射探頭。因此，在準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。

FR-InLine 是一款模塊化可擴(kuò)展的在線薄膜厚度測(cè)量?jī)x（膜厚儀），可進(jìn)行在線非接觸測(cè)量 3nm-1mm 厚度范圍內(nèi)的涂層。 FR-InLine 膜厚儀并可以依據(jù)各種不同應(yīng)用設(shè)置多個(gè)參數(shù)的實(shí)時(shí)測(cè)量，例如：反射率和透射率光譜、厚度、色座標(biāo)。 FR-InLine 膜厚儀測(cè)量軟件可以在標(biāo)準(zhǔn) Windws 10/11 中執(zhí)行。